甲硅烷作為硅碳負(fù)極中納米硅的原料應(yīng)用在鋰電池行業(yè)中，在未來，固態(tài)電池的負(fù)極材料中也有納米硅的應(yīng)用。納米硅的制取方法主要有機(jī)械球磨法、化學(xué)氣相沉積法、等離子蒸發(fā)冷凝法三種，其中化學(xué)氣相沉積法是一種以硅烷氣為原材料制取納米硅粉的技術(shù)。目前機(jī)械球磨法是國內(nèi)主流的納米硅制造方法，但機(jī)械球磨法易混入雜質(zhì)，且只做到微米級(jí)別，無法做到更精準(zhǔn)的高純化的納米級(jí)別。化學(xué)氣相沉積…