8月5日，中船特氣（688146）宣布其光刻氣產(chǎn)品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）獲得日本GIGAPHOTON株式會社的合格供應(yīng)商認證，有效期直至2030年，成為繼華特氣體之后的第二家通過國際認證的國內(nèi)公司。其認證的突破，對國產(chǎn)光刻氣行業(yè)的深遠影響遠超單一企業(yè)獲益：既為后續(xù)企業(yè)提供了可復(fù)制的技術(shù)范本、顯著縮短認證周期，更在“華特-中船”雙巨頭格局下，憑借國產(chǎn)成本優(yōu)勢持續(xù)擠壓外企溢價空間，加速爭奪長期由日美企業(yè)壟斷的光刻氣定價權(quán)。

作為光刻氣的先驅(qū)者，華特氣體于2017年正式通過ASML認證，是國內(nèi)目前唯一通過ASML認證的光刻氣廠商。2021年10月，華特氣體發(fā)布公告，宣布公司四款光刻氣產(chǎn)品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne等）均通過了日本GIGAPHOTON株式會社的合格供應(yīng)商認證。

時隔四年，中船特氣則依托中船集團資源，聚焦DUV/EUV光刻氣高端品類，攻克GIGAPHOTON認證，為打入3nm以下先進制程供應(yīng)鏈奠定基礎(chǔ)。

從華特氣體作為光刻氣的開拓者，到中船特氣的后繼者，從單點突破到系統(tǒng)破局，這一路的顛沛流離，反映出國內(nèi)特氣從業(yè)人堅韌的毅力與不屈的精神。從這一刻開始，中國光刻氣從“替代進口”邁向“定義標準”的轉(zhuǎn)折點。在光刻氣“卡脖子”技術(shù)大戰(zhàn)的背景下，華特氣體與中船特氣雙巨頭競合態(tài)勢形成，和隨后更多的中國企業(yè)相繼突破，光刻氣本土供應(yīng)鏈的黃金時代才真正開啟。

資訊來源：中船特氣、隆眾資訊、火焰山財經(jīng)