摘　要：第三代半導(dǎo)體是以碳化硅和氮化鎵為代表，具備高頻率、高效率、高功率、耐高壓、耐高溫、高導(dǎo)熱等優(yōu)越性能，是新一代移動(dòng)通信、新能源汽車、高速軌道列車、能源互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展和轉(zhuǎn)型升級(jí)的重點(diǎn)核心材料。通過大力發(fā)展第三代半導(dǎo)體，尤其是目前大量應(yīng)用的碳化硅和氮化鎵，以及探索新一代半導(dǎo)體材料，對(duì)支撐碳達(dá)峰、碳中和意義重大。0 引言在“雙碳”目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)過程中，我…